Leitfähige Schleifringe sind hochwertige Präzisions-Drehkomponenten im Kernbereich von Halbleiteranlagen. Speziell entwickelt für die automatisierte Fertigung sowie die hohen Anforderungen an Präzision und Zuverlässigkeit der Halbleiterindustrie ermöglichen sie eine stabile Übertragung von Strom, Encodersignalen und verschiedenen empfindlichen Signalen bei einer 360°-unbegrenzten Drehbewegung. Sie können mit einem zentralen Durchgangsloch ausgestattet werden, um Antriebswellen von Geräten, Prozessleitungen sowie Messkabeln aufzunehmen. Zudem lassen sich pneumatische und hydraulische Drehgelenke integrieren (unterstützen sowohl Über- als auch Unterdruck), wodurch eine kombinierte Übertragung von Elektrizität, Signalen, Gas und Flüssigkeiten realisiert wird – vollständig abgestimmt auf die Frontend-Fertigung, das Backend-Paketieren und Testen sowie die lückenlose Prozessinspektion und die automatisierten unterstützenden Anlagen der Halbleiterindustrie.
Kernanwendungsszenarien leitfähiger Schleifringe
Geeignet für den gesamten Produktionsprozess der Halbleiterwaferbearbeitung, der Chipverpackung sowie der Endproduktinspektion und kompatibel mit den Drehmechanismen der wichtigsten Anlagen:
Front-End-Wafer-Fertigungsanlagen: Photoresist-Auftrags- und Entwicklungsgeräte, Ätzmaschinen, Dünnfilmschichtabscheidungsanlagen (PVD/CVD) sowie chemisch-mechanische Poliermaschinen (CMP). Verwendet in rotierenden Spannfuttern, Target‑Stufen und Polierköpfen, mit Durchgangslöchern für Wafer‑Tragwellen sowie Vakuum‑ und Prozessgasleitungen.
Back-End-Verpackungs- und Testanlagen: Wafer‑Dicing‑Sägen, Chip‑Die‑Bonding‑Maschinen, Drahtbonding‑Anlagen und Formpressen. Passend zu rotierenden Indextischen und Spannmechanismen, mit Durchgangslöchern für Saugleitungen, Mess‑ und Antriebskabel.
Anlagen zur lückenlosen Prozessinspektion und Sortierung: Wafer‑Probenstationen, Maschinen zur Inspektion des Chip‑Aussehens sowie elektrische Leistungstestmaschinen. Eingesetzt in Drehtischen und Kardangelenken, um eine hochwertige Übertragung von Prüfsignalen sicherzustellen, mit Durchgangslöchern für Linsenfokussierwellen sowie Probenantriebswellen.
Automatisierte Unterstützungsausrüstung: Rotierende Hebevorrichtungen von Wafer‑AGVs, Manipulatoren der Produktionslinien sowie FOUP‑Handhabungssystemen. Abgestimmt auf Drehgelenke und Ladestationen, um eine miniaturisierte, integrierte Signalübertragung zu ermöglichen.